型号: | - |
---|---|
品牌: | - |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
标签︰ | - |
单价: |
-
|
最少订量: | - |
扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业,对所加工的硅
片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、 控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
扩散炉技术指标:
可处理硅片尺寸:2—12英寸
外型形式:卧式1—4管结构
工作温度:200℃—1300℃
恒温区长度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
单点温度稳定性、重复性:≤±1℃/24h
温度斜变:可控升温速率15℃/min
可控降温速率:5℃/min
送片装置:手动推拉
气路系统:1—5路工艺气体/管
气体控制:手动浮子流量计
控制方式:程控
青岛福润德微电子设备有限公司 | |
---|---|
国家/地区︰ | 山东省青岛市 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 13969693848 |
联系人︰ | 张琪 (销售) |
最后上线︰ | 2024/09/07 |