设备型号 SP-12112AS SP-1512AS SP-1912AS SP-1515AS 真空室尺寸（mm） 1200×1200 1500×1200 1900×1200 1500×1500 极限真空 6.0×10-*Pa 抽气时间 空载大气至5.0×10-Pa小于15分钟 压升率 1h≤0.5Pa 真空泵组 机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵/深冷系统+维持泵 加热系统 常温至300℃可调可控（PID控温） 加气系统 质量流量控制仪（1-4路） 靶结构 圆弧靶、柱状溅射靶、条形离子源 电源类型 直流溅射电源、弧电源、高压轰击偏压电源、离子源电源等 工件旋转方式 公转+自转 变频可控可调1-5转/分 控制方式 手动+半自动+全自动—体化+PLC+IPC 备注 设备各配置指标可按客户产品及特殊工艺要求定制