IKO直接驱动型校准工作台SA･･･DE的直线导向部使用IKO自润滑直线导轨L，旋转导向部使用IKO交叉滚子轴承，驱动部采用直接驱动方式，是一款低断面紧凑型做XYθ运动的校准工作台。
   高精度定位：校准工作台SA･･･DE通过高分解能线性光栅尺搭配全闭环控制，实现了没有后移间隙的高精度定位。

三轴自由组合：而且，直线移动用的X轴可动工作台和旋转定位部θ轴转台均已标准化，可方便地进行X轴和θ轴的组合或架构XY轴的校准工作台。

两种分解能：直线电机驱动的X、Y轴有0.1μm和0.5μm两种分解能，可根据用途选择。