炉管数：1～4管

配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸)

恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)  760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃)    ±0.5℃/24h (800～1280℃)

气源路数：    ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

气体控制：    浮子/质量流量计

悬臂舟参数： 速度：    20～1000 mm/min    行程：2000 mm    定位精度：±1 mm    载荷：17 Kg

超净工作台： 净化等级：100级（万级厂房）

噪音：    ≤62dB（A）

振动：    ≤3μm