ITO薄膜（铟锡氧化物）有复杂的立方铁锰矿结构，最低电阻率接近10^- 5Ω·cm 量级，可见光范围内平均光透过率在90%以上，其优良光电性质使之成为具有实用价值的TCO薄膜。

    ITO透明导电膜除了具有高可见光透过率和高电导率，还具备其它优良的性能，如高红外反射率、与玻璃有较强的附着力、良好的机械强度和化学稳定性、用酸溶液湿法刻蚀工艺容易形成电极图等，被广泛地应用于平板显示器件、微波与射频屏蔽装置、敏感器件和太阳能电池等很多领域。特别是近年来液晶等平板显示器件的崛起，更促进了ITO薄膜的研究和需求。