气相法二氧化硅是极细的无定形二氧化硅，分子式SiO2它是一种白色蓬松粉末，多孔性，无毒无味无污染，耐高温，同时它具备化学惰性。由球形原生粒子组成。原生粒子****平均粒径为40nm，最小平均径为7nm。如果能将1克200比表的原生粒子挨个排列成一条链，它的长度约为地球与月亮之间平均距离的17倍。原生粒子的大小可以通过另外一个例子来进一步说明：200比表气相法二氧化硅的原生粒子直径与足球直径之比相当于足球与地球直径之比。原生粒子不是孤立存在的，它们形成体和附聚体。在不同应用中的行为特性是由原生粒子大小及其附聚体在该应用体系中的分布共同决定的。不像沉淀法二氧没有明确的附聚体尺寸。