技术参数

1. 最小测漏率： 5×10-12 mbar l/s
2. 漏率显示范围： 10-12–1 mbar l/s
3. 启动时间(冷机启动至可工作状态的时间)： < 3 min
4. 测漏反应时间： 0.5 s
5. 最大进口压力： 25 mbar
6. 重量： 44 Kg
7. 功率： 400 VA
8. 测试口法兰： DN 25 ISO – KF
9. 继电器输出: 2 x 230 VAC
10. 输出继电器容量: 3 A


主要特点

1．无与伦比的 Twin- Flow 专利设计结合 Pfeiffer Split-flow 专用分子泵，可使检漏精度及检漏效率达到最高。
2．进口压力 25 mbar，为氦检漏业界最高的标准，可帮助客户快速进入检漏状态。
3．灵活多样的用途，有多达 6 款设备可供客户选择。
4．适用于真空, 半导体设备检漏, 镀膜, 电子零件, 热交换器等行业使用。

仪器介绍

氦质谱检漏仪的应用：
德国普发真空（PFEIFFER VACUUM GMBH）作为世界专业的真空产品制造商，可为各类用户提供世界一流的高性能产品。氦检漏仪作为普发真空的核心产品，被广泛应用于电子、半导体、镀膜、汽车、科研等行业，目前，国内的知名企业（例如：ABB、西门子、菲利浦、3M 等）都有应用到普发真空的产品。