MOCVD烤盘炉

■ 主要技术参数 

◆型式：卧式、自动控制

◆使用温度：1200~1400℃ 

◆最高温度：1450℃ 

◆工作区域内温度均匀性：±4℃

◆内腔有效加热区：≥Φ630mm×600mm     （800～1400℃）

◆最大装炉：≥70Kg（1400℃时）

◆冷态极限真空度：优于5×10-3Torr 

◆热态极限真空度：优于9×10-3Torr

◆抽气速率：冷炉、空载、大气状态下达到10-3Torr）：≤30min 

 ◆控温精度：±1℃   

◆压升率（漏率）：5×10-3Torr /h设备检漏用氦质谱仪进行检漏，确保设备在E-11pa·m3/s级不漏气。

◆升温速率（空炉从室温升到1450℃）：    ≤90min 

◆降温速率：快冷开启之前可控可编程