1  HB 水平布里支曼

(1) 主要技术指标

■ 结构型式：单管水平式，加热炉体可左右移动

■ 适合2~4″晶体生长工艺（可定制）。

■ 炉体有效加热长度：1600mm。

■ 最高工作温度： 1300℃                    

■ 恒温区精度（静态闭管）：±0.5℃

■ 升温速率（室温～1260℃）： 斜变升温速率可控在0～15℃/ min

■ 降温（1300℃～ 900℃）： 0～5℃/ min   

■ 供电电源：三相五线  380V±10%   50Hz

2        HGF  水平梯度冷凝

(1)    主要技术指标

■ 结构型式：单管水平式，加热炉体不移动

■ 适合2~4″晶体生长工艺（可定制）。

■ 炉体有效加热长度：1600mm

■ 最高工作温度： 1300℃                    

■  恒温区精度（静态闭管）：±0.5℃

■ 升温速率（室温～1260℃）： 斜变升温速率可控在0～15℃/ min

■ 降温（1300℃～900℃）： 0～5℃/ min   

■ 供电电源：三相五线  380V±10%   50Hz

3        VGF 垂直梯度冷凝

(1) 主要技术指标

■ 结构型式：立式，加热炉体不移动。

■ 适合2~6″晶体生长工艺（可定制）。

■ 炉体有效加热长度：700-1000mm

■ 最高工作温度： 1300℃                       

■ 恒温区精度（静态闭管）：±0.5℃

■ 升温速率（室温～1260℃）： 斜变升温速率可控在0～15℃/ min

■ 降温（1260℃～900℃）：0-- 5℃/ min   

■ 供电电源：三相五线   380V±10%   50Hz