太阳能电池扩散炉

产品描述

产品用途：

该扩散炉具有四套独立的工艺炉管。供太阳能电池片生产线

上156mm×156mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用。

主要特点：

1.关键件全部采用进口件，具有高可靠性。

2. 采用进口智能控制器，可输出四个开关量，对炉温、阀门动作

进行自动控制，并管理全部工艺时序，可编辑存贮十条工艺曲

线。具有高抗干扰能力。

3. 具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。

4. 具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。

5. 控温精度好，温区控温稳定性好。

6. 新型炉体设计结构，保证工艺过程中温区温度的快速稳定，更

适合于连续性大规模生产。

7.闭管式扩散系统更洁净、更环保。

技术指标：

适用硅片尺寸：156mm×156mm

装片量：400片/管

可配工艺管外径：φ300mm

工作温度范围：600～1100℃

恒温区长度：600～1100℃

精度精度： ±1℃

单点温度稳定性：600～1100℃ ±1℃/24h

升温时间：从室温到900℃<60min

最大降温速度（1100~900℃）：5℃/min