赛瑞达生产的扩散炉炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS，美国TYAN，美国THERMCO，荷兰ASM，英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，可处理2~8英寸硅片的扩散工作。

   ⑴ 扩散炉体结构图

   ⑵产品性能及特点

     具有使用寿命长、温区稳定、结构合理、性能可靠等特点，并可以根据用户要求定做。