赛瑞达公司自主开发的程控扩散炉系统，由进口温度控制器控温，具有高可靠性，高稳定性，功能强大，操作简单等优点，是半导体生产企业理想的生产设备。

 

⑴  程控扩散炉特点

◆关键件全部采用进口件，具有高可靠性。

◆具有可编程的升、降温功能。

◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。可存储九条工艺曲线。每条工艺曲线最多有九步。曲线间可以任意链接、重复。

◆具有高抗干扰能力。

◆具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。

赛瑞达可为您提供斜滚式推拉舟系统，石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统。

 

 

 

⑵程控扩散炉主要技术指标

     ◆可配工艺管外径：2~8英寸

◆可配工艺管数量：1~4管/台

◆工作温度范围：400～1300℃

◆恒温区长度及精度：300～1000mm     600~1280℃±0.5℃

◆单点温度稳定性：600～1280℃ ±0.5℃/24h

◆最大可控升温速度：15℃/min

◆最大降温速度：5℃/min     

★青岛赛瑞达可为用户量身定制非标准产品。

 

⑶扩散炉选型要点

   ◆按结构可分为立式和卧式两种。

◆推拉舟有斜滚.双杆.悬臂三种形式。

◆工作台有简易操作台（无净化、净化）;标准操作台（无净化、净化）。

◆按管路的组成及连接形式可从以下两方面来区分：

    1.按流量控制器区分：可分为浮子流量计和质量流量控制器。

    2.按阀门及连接方式区分：可分为进口电磁阀卡套连接.进口气动阀卡套连接.进口气动阀VCR连接三种形式。

◆按工艺类型区分：可分为干氧氧化.湿氧氧化（普通湿氧化和氢氧合成氧化）.   磷扩散.硼扩散和退火（合金）等多种。