我公司能够为各种扩散炉提供完整的全系列高质量加热炉体，技术性能指标不低于原设备用炉体。以我公司的加热体专有技术制造的炉体将提供更宽的工艺温度范围及更高的恒温区精度以及更长的使用寿命。
技术特点：
优质加热丝：KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE…
绝热材料：PMF T2 T3…晶体纤维等
绝缘子：高纯刚玉
端口过渡环：氧化铝氧化锆等真空成型。


用途：半导体扩散炉 烧结炉等
◆满足4"-8"立式、卧式晶圆扩散炉"
◆完整的产品系列，满足该产品的
◆进口替代先进的材料及制造技术
◆质量技术指标优异
◆使用温度：室温-1300℃±0.5℃
◆高温型、普通型、快速升降温型




按客户的炉型要求，可内衬高纯刚玉管或SiC管

提供完整的相关配件
■热偶系列
■真空成型过渡环、端口
■按客户要求的各种特异炉体

For Diffusion Oxidation Lpcvd Pecvd Procss