产品说明
F.S.流量 N2换算 10SCCM-20SLM (8500)
30SLM-100SLM (8550)
感测器方式 热式质量流量控制器
阀执行机构 电磁常闭
阀方式 提升阀
控制 控制范围 2%-100%F.S
应 答 性 设定±2%F.S.至1秒以内（标准）
精 度 ±1.5%F.S. 以内(±2%F.S. 8550)
再 现 性 ±0.2%F.S. 以内(±1.5%F.S. 8550)
压力 耐 压 0.98Mpa
动作差压 49Kpa-294Kpa
低 差 压
选 购 件 2-149KPa
温度 使用温度 0℃-50℃
精 度 保
证 温 度 15℃-35℃
湿度 容 许 动
作 湿 度 10% -90% （无结露）
报警事件 输 出 数 报警输出：1事件输出：1
（开路集电极输出 Max35V:50mA）
分辨能力 最高分辨能力1mV（1digit）
通信 通信形式 RS232C（多项）/RS485：通信速度9600bps
电源 所需电源 DC+15（±5%）100mA,DC-15(±5%)200mA
连接气体部分材料 SUS316L，SUS316，PTFE，氟橡胶，氯丁橡胶（选购）
接 头 9/16-18UNF，1/4Rc，1/4S SWLTM，1/4VCRTM
安 装 姿 态 无指定
重量 普通：1000g
特规：（900g）
显示 方 法 7节LED4位元数字 整体展示：0000-9999
准确性 ±0.1%