超声波流量计仪是一种用于检测半导体制造装置内，涂布药液的流量管理的一种测量仪器，此种仪器的特性是配管两端装有超声波探头，相互进行收发信号，测定各自传播时间；顺流的超声波会很快到达，相反逆向的超声波则会较晚达到，根据传播时间算出流速，并通过流速算出流量。

1、配管两端装有超声波探头，相互进行收发信号，测定各自传播时间。
2、无突出部位暴露在流液内不会产生测量误差。
3、与液体接触部完全使用TEFLON制造。
4、测量范围大。

　

具体型号	USF100A-G10EP
计测方式	超音波传播时间差方式
耐压力	0.5MPa
测定流量范围	0.05-2L/min
分辨能力	1L/min
更新周期	0.01秒
测定流量精度	±1%FS
测定对象	流量（纯水、药液）

半导体制造装置内，涂布药液的流量管理。