对于晶体构造中不存在对称中心的异极晶体,加在晶体上的张紧力、压应力或切应力,除了产生相应的变形外,还将在晶体中诱发出介电极化或电场。这一现象被称为正压电效应;反之,若在这种晶体上加上电场,从而使该晶体产生电极化,则晶体也将同时出现应变或应力,这就是逆压电效应。两者通称为压电效应。压电阀即是利用压电逆效应而研制的。
压电材料的变形量正比于施加在其上的电场强度,利用这一特点,可以开发出比例调压阀。由于压电阀片在变形过程中不受机械摩擦力,且压电阀片有响应快功耗低的特点,基于压电阀片的电气比例调压阀很多性能优于传统的比例调压阀。例如其没有死区,压力可以从零开始连续调节;其响应快,可满足高速系统的应用要求;其功耗低,对电源功率要求低。
压电式气动换向阀(压电阀)是把压电技术引入到气动阀中的一项新技术,相对于传统的气动阀,其有功耗低、响应快、没有电磁干扰、寿命长及不会发热等优点。其在工业及过程自动化控制领域有广阔的应用。
美国PEV-1压电阀是为了适用于要求精确控制气体流量的场合,主要应用领域包括:磁控溅射,光学镀膜,太阳能电池,ITO,等离子体刻蚀等。
PEV-1压电阀主要技术特点:
1、控制模式:开环控制和闭环控制
2、易于集成:可与国产自动压强控制仪配套使用,来实现闭环控制,达到稳定压强的目的,性价比高,同时亦可选择进口压强控制仪
3、响应时间快
4、性能稳定,压电陶瓷片寿命长
5、无机械连接件,无伺服马达,无磨损,在断电的情况下可实现自动关闭的特点
技术参数:
流量:0¬—500 scmm
响应时间:2 毫秒
漏率:1*10-9sml/sec
电压:0—100VCD
温度范围:10摄氏度至60摄氏度
最大入口压强:50PSI