一、产品介绍  

SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。

二、激光干涉仪工作原理

从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式□式中□为激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。

三、SJ6000激光干涉仪的技术参数

• 测量方式：单频
• 稳频精度：0.05ppm
• 动态采集频率：50 kHz
• 预热时间：5-10分钟
• 工作温度范围：0~40℃
• 环境温度范围：0~40℃
• 存储温度范围：-20℃~70℃

• 空气温度传感器：±0.2℃(0-40℃)，分辨率0.01℃
• 材料温度传感器：±0.1℃(0-40℃)，分辨率0.01℃
• 空气湿度传感器：±6% (0-95%)
• 大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)

• 测量距离：0-40m
• 测量精度：0.5ppm (0-40℃)
• 测量分辨率：1nm
• 测量最大速度：4m/sec

• 轴向量程：0-15m
• 测量范围：±10°
• 测量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
• 测量分辨率：0.1μm/m

• 轴向量程：0.1-4.0 m
• 测量范围：±2.5 mm
• 测量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M为光学镜移动距离，单位：m）
• 测量分辨率：0.01μm

• 测量范围：±3/M mm/m
• 测量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
• 测量分辨率：0.01μm/m

• 轴向量程：0-15 m
• 测量范围：±1.5 mm
• 测量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
• 测量分辨率：0.1μm

• 角度测量范围：0-360°
• 精密转台角度增量：5°
• 精密转台分度精度：±1秒
• 精密转台重复性：0.2秒