KS-L150
轨道式匀胶显影机

全封闭结构，适用于0.8 m以上工艺制程。
1. 功能模块、通道数量灵活选配。
2. 机械手传送晶片，无污染，安全可靠。
3. 具备故障诊断，历史记录追忆功能。
4. 操作界面简捷，加工程序编制、储存、编辑、修改、调用灵活。
技术指标：
晶片尺寸：Ф50mm～Ф150mm（方形基片对角线）
主轴转速：Max.5,000rpm
加 速 度：Max.50,000rpm/s
热 盘：50℃-120℃±0.6℃
120.1℃- 250℃±0.5%
可选单元：FFU，AD，CP etc.
外型尺寸：H1700×W1700×D1100 (mm)