微小孔及小间隙内壁粗糙度仪

※ 最小直径100μm的微小孔测量
※ 直径35μm的高度探针管嘴
※ 垂直解析度5nm
※ 9个轴对准所有的孔嘴
产品520 TPR 是专为测量微小孔及小间隙内壁粗糙度而设计，可得到非常精确的粗糙度值 （Ra, Rt, Rz, RSm...)
为了实时对准被测孔，本仪器配备了3个自动旋转轴及3个自动转换轴。
由微量钨和碳纤维组成的传感器，能实现内部形貌的精密测量。这归功于本公司在框架结构下开发的LVDT技术。
技术规格
X，Y，Z 轴范围 (mm) Up to 200 x 200 x 200 (motorized)
解析度 (μm) 0.5 (0.1 in option)
形貌的直线度 Up to 0.6 μm x 200 mm
尺寸 L900 x W710 x H1980
重量 (kg) 650
PheNIX技术 由ALTIMET公司开发，同时满足工厂及实验室使用
最大检测速度 250 μm / s
探针 AltiProbe NEEDLE
原理 特殊设计的感应传感器
范围 150 μm to 1.5 mm
垂直解析度 2 to 60 nm
侧面解析度 2 μm stylus radius – diameter of 35 μm
频率 up to 30 KHz
探针 AltiProbe CLA
原理 白光CLA (Chromatic Light Aberration)
范围 Modular confocal optical probeof 300 μm
垂直解析度 6 to 600 nm (accuracy: 20 nm to 3 μm)
侧面解析度 up to 1.1 μm
探针 AltiProbe Inductive
原理 标准电感传感器或特定的触针
范围 150 μm to 1.5 mm
垂直解析度 2 to 60 nm
侧面解析度 2 μm stylus radius 60°or 90° or customized
配备
分析软件 Altimap suite: Lab to line interface (control card). Self macro analysis
CCD Camera 测量区域的观察和选择 Zoom up to x1200