国产全自动射频匹配器 VEAN-1000

国产全自动射频匹配器 VEAN-1000
型号:VEAN-1000
品牌:格美
原产地:中国
类别:电子、电力 / 电源和配电设备 / 其它电源和配电设备
标签︰匹配器 , 射频 , 自动
单价: -
最少订量:1 件

产品描述

VENA-1000
 
主要功能特性
频率
13.560MHz
最大传输功率
1000w
反射功率(最大功率时)
<3w
最大负荷电流
30ARMS
最大负荷电压
7000VRMS
传输效率
>94%
负载阻抗
50Ω
RF输入连接器
50 Ω, UHF(或N-type, female
最大等离子直流偏置电压
0 to 2.000 VDC
直流偏置电压检测值
0~5VDC
匹配时间
3~5s
主电感
8
主电容
真空电容
可匹配阻抗实部范围
0~80Ω
可匹配阻抗虚部范围
-j200~~+j100
RF输入连接器
50 Ω, UHF(或N-type),可自定制
 接口与冷却方式
控制接口
自动手动控制窗口
冷却方式
风冷
风流量
24CFM
 电源
AC电源
220VAC
AC频率
50/60Hz
电源功率因素
90%(最大功率时)
 机械特性
表面安装螺丝
6-32螺丝
重量
5kg
尺寸
430mmDx220mmWx130mmH),或可自定制
Auto RF Match VENA系列说明
  VENA系列自动匹配器用于0-1500W的真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气象沉积,化学气象沉积,磁控溅射,以及太阳能制造设备PECVD等设备当中,主要功能是实现全自动匹配,解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺;目前国内主要真空设备厂家的产品大多使用手动匹配器,使用起来十分不便,在设备启动后抽真空加功率起辉过程中,要不断地调整手动匹配器的阻抗而使输出达到工艺的要求,而自动匹配器则可以弥补这一缺陷,具有自动,快速,可靠,高效,准确,节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等,从而使您能够发现并显著降低制程变化性。产品覆盖500W, 1000W, 1500W等功率。


国产全自动射频匹配器 VEAN-1000 1

会员信息

中山市格美电子有限公司
国家/地区︰广东省中山市
经营性质︰生产商
联系电话︰13926016641
联系人︰刘旭昌 (销售工程师)
最后上线︰2016/04/15