1．设备概要

为达到均匀显影的效果，本设备通过SlitSW进行显影，然后通过Swing SW加强显影效果，最后使用喷淋和风刀去除液体。须根据液体中的光刻胶含有率情况，定期更换液体。

2．设备规格

（1）处理对象：STN液晶用玻璃板

（2）处理目的：光刻胶显影、干燥

（3）对象尺寸等：14″×16″，17″，T=0.4、0.55、0.7、1.1mm

（4）篮子规格：贵公司提供

（5）基板传送方向：从左到右，或从右到左

（6）设备外形尺寸：约7270×1400×1650mm

（7）干燥重量：约4200Kg

（8）基板传送高度：从地面至基板下面为900mm

（9）传送方式：水平枚叶式传送方式

（10）传送滚轮间距：基本为80mm

（11）处理时间：标准17秒/块，标准传送速度约2.1m/分钟

（12）启动准备时间：启动后约60分钟

3．外供电源

（1）主机：3相，380V，50Hz，约30kWA

（2）合计：约30kVA

（3）纯水用量：约32L/min，0.15Mpa G，电阻值10MΩ/cm以上

（4）冷却水用量：约0L/min

（5）空气用量：约2100NL/min，0.4～0.5Mpa G，洁净干燥气