美国AE FC-7700CD质量流量控制器

型号：	FC-7700
品牌：	美国AE(Advanced Energy)
原产地：	中国
类别：	电子、电力 / 仪器、仪表 / 流量仪表
标签︰	MFC , 质量流量计 , 流量控制器
单价：	-
最少订量：	1 件

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产品描述

作为针对各种应用的业界公认标准，Aera® FC-7700 系列 MFC 提供精确的流量控制，同时具备弹性密封的经济优势。对于半导体、平板显示器、数据储存、工业真空、及工业涂层的工艺及装备工程师，这一系列提供针对非腐蚀性气体应用（包括 CVD、PVD、蚀刻、离子注入、溅射、热氧化、光学玻璃镀膜、光纤、表面处理以及其它镀膜工艺）的高度可靠性和出色的性能。

优势	特点
快速响应——设置点之间的流量沉淀时间不到2秒无与伦比的可靠性——一年零漂移不到满标度流量的0.5% 易于整合——标准连接器和尺寸出色的效果——优质薄膜特性	弹性密封 VCR^® , VCO^®, 及 Swagelok^® 共容的连接满标度流量范围为10 sccm - 200 slm 常关或常开的电磁控制阀最大的净化模式流量——校准后最多100次泄漏率为1x10^-6 atm-cc/sec of He

性价比高
FC-7700系列产品专为那些要求顶极性能，但不要求具有耐腐蚀性或超高漏率要求的应用而定制，不仅性价比好，而且控制精度非常高。

响应速度快

FC-7700系列产品采用最新技术设计，工作性能远远优于同类质量流量控制器MFC.其先进之处包括：采用了一种敏感性强、响应速度快的小直径传感器。另外，与采用低速热敏阀的同类产品相比，FC-7700系列产品采用常开或常闭式电磁阀，具有较快的响应速度。提高响应速度之后，避免了出现过冲，达到设定点的时间不到2秒--在所有带标准电磁阀的质量流量控制器产品中是最快的。

无与伦比的可靠性
由高质量的电子组件和采用耐用、最少元器件的设计理念，这使它可以经受强射频场的干扰，满足其它运转要求，并具有同类产品中最佳的零点漂移稳定性--使用超过一年，零点漂移不到满量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上产品中，仅有不到0.5%的产品在出货一年内返修。

易于集成
替换其它品牌，即可轻松获得Area质量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的优势，且不会遇到安装方面的麻烦。特定型号的产品带有标准电气接头并具有临界尺寸，可轻松装入现有的系统。

出从的效果
FC-7700系列质量流量控制器带给您的不仅仅是薄膜和刻蚀工艺的一致性，同时还有高度的可重复性。

型号参数：

类别	FC-7700、7700C、7700CD、7700CU	FC-7710、7710C、7710CD、7710CU	FC-7720、7720C、7720CD
满量程范围	10sccm到5slm	6到20slm	35到150slm
		20到50slm
响应时间	到达设定点±2%所需时间<2秒		到达设定点±2%所需时间<3秒
精度	满量程±1%范围内	满量程±2%范围内
线性度	满量程±0.5%范围内	满量程±0.5%范围内	满量程±1%范围内
		满量程±1%范围内
重复精度	满量程±0.2%范围内
漏率	最大值1×10-6 atm-cc/秒(氦)
控制范围	满量程的5到100%
压差	7至40 psi	10至40 psi(517至2069托)	21至40 psi(1086至2069托)
	(362至2069托)	14至40 psi(724至2069托)
正常工作压力	50 psi(2586托)
最大入口压力	最大值150 psi(7740托)
温度范围	5至45℃