美国AE Pinnacle直流电源|磁控溅射电源

产品描述

业界公认的 Pinnacle® 直流电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能，从而大大减少了工艺变化，提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围。

优势:

●最低的运行和安装成本

●业界最快的弧反应时间

●可配置的弧反应参数

●最大的工艺效率

●精确的工艺控制

特点:

●最低的存储能量——每千瓦输出不到 1mJ

●无需调节输出变压器

●4:1的阻抗范围

●靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间

●±0.1%的输出重复性

●Joule 模式——最优化的能量传送.

规格：

●输入电压：200/208、400或480VAC（±10%）、3Φ4线、50/60kHz

●功率因素：负荷＞90%

●输出电压：低Z、标准Z或高Z

●输出极性：浮动默认值，具有正和负功能

●输出波纹电压：与输入线频有关，输出波纹电压分量＜5%RMS

●输出功率重复精度：0.1%，从设计功率到10%到100%。

●负荷调整：±1%，输出阻抗范围的V-1限值内4﹕1的负荷变化

●温度系数：＞20℃至40℃的环境温度范围内调整输出参数变化＜0.005%/℃

●模拟接口选项：37针绝缘，0至10VDC模拟。0/24VDC数字

37针，0至10VDC模拟，0/15VDC数字

37针，0至5VDC模拟，0/15VDC数字

●串行通信选项：RS-232，RS-422，RS-485（可选波特率高达57.6K）

AE Bus 协议

ASCⅡ协议（MDX和仿真）

Profibus（可选波特1.5或12MB）AE Bus协议

具有DeviceNet®选项

●输出功率接头：三个终端、多个触点、可插入式接头、UHF、军用附件或接线环

●输入功率接头：五个终端，DIN压缩接头

尺寸：133×483×639mm（高×宽×长）

●重量：29.5kg

Pinnacle® 6KW、6/6KW、8KW、10KW、10/10KW、12KW、15KW、20KW