FTS Intra型粗糙度轮廓仪是英国泰勒霍普森有限公司在标准计量室产品Form Talysurf系列的基础上开发的。适用于生产现场和计量室使用。其前身产品型号为FTS Plus。
FTS Intra的驱动箱和传感器的性能与标准计量室使用的Form Talysurf系列中的S3C型相同。区别是控制和数据分析部分。Form Talysurf系列采用计算机控制分析。FTS Intra采用PDA控制处理器,为触摸式屏幕。可显示控制菜单和分析结果(图形和参数)等。控制分析单元对驱动单元可连线控制,也可红外遥控。
FTS Intra也可以配置计算机,测量的数据直接传输至计算机,由Ultra软件对仪器进行控制及对测量数据的分析。
1. 扫描箱
(1) 测量长度: 0.1mm-50mm
(2) 驱动: 使用控制处理器
(3) 直线度: 0.2µm/20mm,0.4µm/50mm
(4) 测量速度: 1.0mm/秒
2. 传感器
(1) 类型: 电感
(2) 测量量程: 1mm (同时测量粗糙度和轮廓,使用60mm长测杆)
(3) 分辨率: 0.2mm量程时3.2nm
(4) 量程与分辨率之比: 65,536:1
(5) 测量力: 0.7-1mN
3. 宽范围传感器(轮廓测量)
(1) 类型: 电感
(2) 测量量程: 28mm(实际标定范围9mm)
(3) 分辨率: 28mm量程时426nm
(4) 范围/分辨率: 65,536:1
4. 标定球
(1) 种类: 12.5mm半径(112/2062)、22mm半径(112/1844)两种。根据不同传
感器和测头选择
(2) 标定内容: 可检查测针针尖的尺寸和形状,标定传感器的全量程和线性度,
修正测针弧形运动而产生的误差等
5. 评定参数
(1) 粗糙度参数: Ra、Rq、Rp、Rv、Rt、Rsk、Rku、Rz、Rz(JIS)、Rpm、R3y、R3z、RS、RSm、RDela、Rlamq、RDelq、Rvo、RPc、RHSC、Rmr、Rdc
(2) 波纹度参数: Wa、Wq、Wp、Wv、Wt、Wsk、Wku、Wz、WLamq、WDelq、WDela、WS、WSrm、Ln、Wc、Wlo、WVo、WPc、WHSC、Wmr、Wdc
(3) 未滤波参数: Pa、Pq、Pv、Pt、Psk、Pp、Pku、Pz(JIS)、PLamq、PDelq、PS、PSm、Pz、Pdela、Ln、PLo、Pc、PVo、PPc、PHSC、Pmr、Pdc
(4) Rk参数: Rk、Mrl、Mr2、Rpk、Rvk、A1、A2
(5) 轮廓功能: 半径和角度Slope(指被测直线与水平测量基准的夹角)
6. Ultra Contour专用轮廓分析软件(112/3170-01)
(1) 测量数据的过滤、调平、旋转、放大或缩小
(2) 无理论模板图形时,根据测量数据手动建立直线或圆弧等几何要素
(3) 有理论模板图形时,根据模板自动建立直线或圆弧等几何要素
(4) 尺寸标注:半径、两圆心中心距、X方向尺寸、Z方向尺寸、斜边尺寸、两直线之间的夹角、圆弧最高或最低点、直线的中点、求交点、尺寸标注线格式、加标记等
(5) 比较功能:实测数据与理论模板数据可进行比较。理论模板图形(DXF格式)可以来自CAD文件,也可以由用户通过测量样板零件之后建立。在理论模板图形上,可对不同数据段定义不同的公差带,可得到测量轮廓上各点与理论图形的误差以及是否超出公差带。
注1:选购该软件必须选择带计算机的机型。
7. 精度
(1) 球标定的不确定度: 不大于0.25µm (60mm长测杆)
(2) 表面粗糙度参数的不确定度: 2%+4nm (仅适用于峰值参数)
(3) 半径测量的不确定度: 0.1-12.5mm半径时,名义值的2-0.04%
12.5-28mm半径时,名义值的0.04%
28-1000mm半径时,名义值的0.04-0.2%
(4) 角度测量的不确定度: 名义值的3% (Ra £ 0.1µm)