液晶－蚀刻减薄设备(非标设备)

1．设备概要

本设备对应ITO膜厚，利用四个区的蚀刻单元实施处理，根据膜厚不同，通过开关选择，切换气阀等管路系统。通过喷淋、倾斜和风刀去除液体，从而实现ITO膜的蚀刻过程。为对应彩色基板，可使用50℃（MAX55℃）液温的蚀刻液（盐酸、DIW、氯化铁）。

2．设备规格

（1）处理对象：STN、CSTN液晶用玻璃板

（2）处理目的：ITO膜蚀刻，干燥

（3）玻璃尺寸： 14″×16″，17″，T=0.4、0.55、0.7、1.1mm

（4）篮子规格：贵公司提供

（5）基板传送方向：从左到右，或从右到左

（6）设备外形尺寸：约11380×1400×1650mm

（7）干燥重量：约7000Kg

（8）基板传送高度：从地面至基板下面为900mm

（9）传送方式：水平枚叶式传送方式

（10）传送滚轮间距：基本为80mm

（11）处理时间：标准17秒/块；标准传送速度约2.1m/分

（12）启动准备时间：启动后约60分钟

3．外供电源

（1）主机：3相，380V，50Hz，约58kWA

（2）纯水用量：约32L/min，0.15Mpa G，电阻值10MΩ/cm以上

（3）冷却水用量：约0L/min

（4）空气用量：约2500NL/min，0.4～0.5Mpa G，洁净干燥气