RF射频低温等离子体表面处理又称电晕处理或电浆处理。其离子和电子的能量可达7-10eV，可以处理聚丙烯——Polypropylene (PP)、聚乙烯——Polyethylene (PE)、聚氯乙烯——Polyvinyl chloride (PVC)、PO、聚苯乙烯——Polystyrene (PS)、高抗冲聚苯乙烯（HIPS)、ABS、聚酯（PET、APET）、聚氨酯（PUL）、聚甲醛、聚四氟乙烯——Polytetrafluoroethylene (PTFE/Teflon)、乙烯基、尼龙——Nylon-11 (polyundecanamide)、（硅）橡胶、玻璃、有机玻璃、ＡＢＳ、石蜡——Paraffin等各种高分子材料及玻璃陶瓷。即使像氟塑料、硅橡胶、石蜡等极难处理的材料通过RF射频低温等离子体处理后其表面张力也能达到65~70达因/厘米。 由于RF射频低温等离子体的离子和电子能量高，单电极，处理范围大、单电极可设计成各种形状，它特别适合对各种二维和三维高分子材料物体的表面进行改性处理。