化学性能非常稳定，耐强酸，包括极强的路易氏酸，耐强碱。与接触的任何特种气体如氟气，强腐蚀性物质，强氧化剂，还原剂均不发生反应

应用：1.用于半导体工业真空泵油，得到世界著名真空泵制造商，如莱宝Leybold、爱德华Edwards、荏原Ebara等的认可。

2.尤其半导体芯片加工过程中的蚀刻和沉淀过程特种气体处理。