型号: | - |
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品牌: | - |
原产地: | 法国 |
类别: | 工业设备 / 其他工业设备 |
标签︰ | 离子注入机 , 离子注入机 , 离子注入机 |
单价: |
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最少订量: | - |
主要特点
适用于4”~6”晶片,最小可用于1*1cm2样品(室温)
4”热注入模式,最高温度可达600度
2个带有蒸发器的Freeman离子源,可使温度达750度
1个Bernas离子源
非凡的铝注入能力
一个主气箱,配有4个活性气体管路;一个副气箱,配有4个中性气体管路
高价样品注入能力
注入角0~15度
IBS特有的矢量扫描系统
手动装载/卸载用于标准注入和热注入,自动25片cassettel装载用于标准腔室
远程操作控制接触屏(5米链接线缆)
辐射低于0.6usv/hour
CE认证
工艺性能
2~210keV
束流:4”晶片100keV时,大于900uAl(As, P), 大于450uA (B)
剂量范围:1*1011*1018~at/cm2
片内非均匀性:1s<寸硅,注B,100kev,1*1014at/cm24=1%(带有1000埃氧化层的
片间均匀性:1s≤ 1 %
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李先生13810504825
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国家/地区︰ | 北京市朝阳区 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 13810504825 |
联系人︰ | 李先生 (经理) |
最后上线︰ | 2012/06/18 |