多晶硅炉用BROOKS流量计

型号：	SLA5851S
品牌：	BROOKS
原产地：	美国
类别：	工业设备 / 机械五金 / 阀门
标签︰	单晶硅炉 , 质量流量计 , brook
单价：	-
最少订量：	1 件

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产品描述

上海网磁电子有限公司专业供应美国原装、全新
的质量流量计－MFC,BROOKS。专业用于制造
单晶硅炉和多晶硅炉设备上面使用，适用的气体
有氮气、氩气、氢气、氧气等纯净气体。
气体的最大量程：50－120SLM,数字和模拟兼容
电气接口：D型15针管道接口：3/8"VCR
交货周期：4周左右，长期订货，周期还会短。
可以完全替代和兼容MKS的相关流量计。
全线代理韩国TK的各种接头、阀门、不锈钢管，欢迎洽谈。
Analog I/O Option:
• 15-pin D-Connector
• 0(1)-5 Volt or 0(4)-20 mA setpoint and flow signals
• Single sided 24 Volt DC power supply
(13.5-27 volts DC range).
• Separate Valve-Override signal
• Precision 5 Volt Reference Output signal
• Compatible with Brooks' Model 0150 series
secondary electronics
• TTL (open collector) Alarm Output signal
Digital Communication Options:
• DeviceNetTM, ODVATM certified
• FOUNDATIONTM Fieldbus, H1 Certified
• HART® based RS-485 multidrop