JYL／GL-1200 DJ 型程控管式炉沉积设备

产品描述

用　途:	主要适用于在高、中温及真空条件下完成的多种工艺
用　途:	（例如：沉积、退火、催化、氧化、合金等）。
组成部分：	①、程控微型管式炉（可编程智能 PID 调节器及高温微型炉体）
	②、气体控制系统（含两路 MFC 及气体管路部件）
	③、真空操作系统（含真空泵，数显真空计，截止阀，调压管路）
	④、密封冷却水套、颗粒过滤器及工艺管
● 炉管直径:	Ф70mm（还可以根据使用需要定做）［工艺管外径Ф52mm ］
● 炉体长度	500mm ［工艺管长度 1000 mm ］
● 最高温度：	1200 ℃
● 温度使用范围：	100 ℃ ～ 1200℃
● 控温精度：	≤ ± 1℃
● 控温方式：	程序调节时按编程曲线控制温度的升、降速率及恒温的定时控制（可编程 4 条曲线）
● 系统极限真空度：	优于 5 Pa
● 流量量程：	0～500SCCM
● 流量控制精度：	≤±2％F.S
● 供电电源：	380V / 220VAC ； 16A 50Hz ( 三相五线制 )
备注	详细参数请见我公司网站或来电话咨询。手机用户可发送“电子专用设备”到12114即可登陆我公司网站