R-14制冷剂，别名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名称有Freon 14等，中文名称四氟化碳、四氟甲烷，英文名称Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，分子式CF4。R-14属于FC类物质——对臭氧层没有破坏、但存在温室效应；目前对于R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。

R-14主要用途

R-14作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中（包括科研制冷、医用制冷等），R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳（四氟甲烷）是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

R-14物化性质

CF₄在常温常压下是一种无色、无味、易于压缩的气体，不溶于水。

CF₄物理性质如下：熔点-183.6℃，沸点-128.1℃，液体密度（-130℃）1.613g/cm³，液体折光率（-173℃）1.515，固体转变点72.2K，临界温度-45.67℃，临界压力3.73MPa，临界密度7.1dm³/mol，标准摩尔生成焓-932.31 kJ/mol，标准摩尔生成熵261.04J/（mol﹒K），标准摩尔自由能-929.84 kJ/mol，标准摩尔生成自由能-887.41 kJ/mol。

四氟化碳（CF₄）是目前微电子工业中用量最大的等离子体刻蚀气体，广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷烷玻璃及钨等薄膜材料的刻蚀，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、控制宇宙火箭姿态、洗刷电路生产、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。由于化学稳定性极强，CF₄还可以用于金属冶炼和塑料行业等

R-14冷媒包装

可重复使用高压钢瓶包装（需回收包装钢瓶）：7kg/瓶，32kg/瓶

1. 别名.英文名

四氟甲烷、氟里昂14；Tetrafluoromethane、Carbon Tetraflu-oride．

2.     用途

制冷、气体绝缘、干蚀刻气、氟化剂、表面处理剂、激光气体泄漏检验剂。

3.制法

(1)C+2F2→CF4

(2)SiC+2F2→CF4+Si

(3)醋酸溶解于无水氢氟酸中，电解制取。

(4)一氧化碳和氟气反应。

4.理化性质

物理性质

化学性质