型号: | WSL |
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品牌: | YG |
原产地: | - |
类别: | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
标签︰ | 卧式烧氢炉 , 烧氢炉 , 微通道板 |
单价: |
-
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最少订量: | - |
1、 最高工作温度:800℃
2、 石英管内径:Φ120mm/管
3、 石英管壁厚:大于3mm
4、 工作温度:室温~800℃
5、 等温区精度及尺寸范围(300℃以上):轴向±1℃/Φ80mm(静态)
径向±1℃/500mm(静态)
6、 单点温度稳定性:(300℃以上,等温区内任意一点)±1℃/24h
7、 升温斜变能力:
最大可控升温速度:15±1℃/min
最大降温速度(300℃~800℃)≥1℃/min
8、 最大升温功率:12KW/管
9、 保温功率:4KW/管
10、 气路系统:自动控制三路气路(氢气、氧气、氮气)的流量。
11、 气体流量控制精度:±2%
12、 气体过滤器规格:0.22um
13、 电源:380V、50Hz、30KVA
14、 冷却水:1-2Kg、20-30升/min、水温不超过30℃
15、 用户N2,H2和O2气源压力:0.6kg—3kg
16、 氮气、氧气、氢气、压缩空气进气管采用3/8”内抛光不锈钢管。
17、 设备颜色:主框架为墨绿色、护板为微机色。
18、 外形尺寸(不含控制柜):长×宽×高=2200×650×1700mm(需图纸确认)
19、 整台机器外观漂亮,做工精细。
20、 真空度:5×10-2毫巴(工作温度下,15分钟内)。
21、 测温热偶:采用K型分度测温热电偶。
青岛福润德微电子设备有限公司 | |
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国家/地区︰ | 山东省青岛市 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 13375588903 |
联系人︰ | 颜先生 (市场部经理) |
最后上线︰ | 2024/09/04 |