型号: | LSKS-2 |
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品牌: | FRD |
原产地: | - |
类别: | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
标签︰ | 扩散炉 , 立式扩散炉 , 立式炉 |
单价: |
¥1
/ 件
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最少订量: | 1 件 |
本设备主要用于LED、光器件、光纤光缆、集成电路、电力电子器件等行业,对3英寸硅片进行扩散、氧化、退火、合金、镀膜等工艺。
外型形式:立式两管结构
2、硅片尺寸:3英寸.
3、自动化程度:工艺过程自动化。
4、送取片方式:手动。
5、搅动方式: 自动,
6、立式(垂直)上下操作方式
7、恒温区长度:250mm
8、炉体内径:Φ125mm
9、温度控制:欧姆龙原装进口控温仪
10、恒温区精度:工作温度范围内,±1℃/250mm
11、单点温度稳定性、重复性:工作温度范围内,±1℃/24h
12、工作温度范围:140ºC-250 ºC
13、控制系统:每管对应一个触摸屏,一台工控机集中管理两个炉管
15、 恒温区温度技术条件(闭管静态测试):
1、工作温度范围: 140~400 ℃。
2、长期工作温度: 250℃
3、恒温区长度及精度: 200~400 ℃: 250mm/±1℃
4、单点温度稳定性: 200~400 ℃: 250mm/±1℃/24h
5、单点温度重复性: ≤1℃
6 、具有恒温区温度可编程自动实时修正(自动拉温区)。
16、升降温的控制曲线斜率:
1、升温方式: 随炉升温。
2、升温速率范围: 0~400℃: 0.1~10℃/min 可控可设定编程。
最大升温速率: 10℃/min。
3、降温速率范围: 400~200℃: 0.1~2℃/min 可控可设定编程。
最小降温速率; 0.1℃/min。
4、管间影响: ≤0.5℃。
青岛福盟微电子设备有限公司 | |
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国家/地区︰ | 山东省青岛市 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 13658669338 |
联系人︰ | 颜廷福 (市场部经理) |
最后上线︰ | 2015/10/26 |