产品概述:

HFM系列是美国矽翔微机电系统有限公司采用世界领先的微机电系统（MEMS）流量传感技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，压损低。适用于净化空气或氮气流量，还可用于环保监测仪器，如空气采样和分析仪器9GC频谱仪）
HFM4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低，压损小，测量范围最大到5SLMP，适用于粒子计数器和分析仪器等。
HFM4008流量传感器，测量范围最大到50SLPM。可用于气流测量和控制设备。洁净气体，如：空气采样机，气体分析仪等。

产品特点:

    - 专为管径为3mm-8mm的固定气道中的低压气体流量测量而设计
    - 卡口式设计为多管路集成测量而设计
    - 快速地响应时间利于精密测量应用 
    - 可变机械连接方式可轻松安装于不同的应用环境中
    - 内置安全插件可适用于更多的应用

产品特点:
通径 3     8    mm
最大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
量程比 >100:1 　
精 度 ±(1.5+0.2FS) %
重复性 ±0.75 %
最大压力 1.0 MPa
工作温度 -10~55 oC
湿度 < 95 %HR
电源 8-24Vdc, 50mA  
输出方式 RS232, I2C, 模拟  
机械接口 NPT, BSPT 或根据需要定制  
校准条件 空气, 20oC, 101.325 kPa

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