真空镀膜电源

产品描述

系列大功率电源系统是替换传统可控硅电源理想产品，同等功率下节约电能40%以上。

一、主要特点：

1．采用先进的开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。

2．采用先进的DSP控制系统，具备自动稳流/稳压功能，不随气压变化，充分保证镀膜工艺的重复性，精确控制膜厚和减少靶材用量。

3．抑制靶材弧光放电及抗短路功能。具有极佳的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。

4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。

5．主要参数均可大范围连续调节。

6. 可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。

7．PLC接口功能，方便实现自动化控制。

二、扩展功能：

1．具备恒定输出功率控制功能。

2．可累计输出功率，掉电后可长期保存。

3．可累计输出电流，方便用户计算靶材损耗；并可预置电流X时间输出控制。

4．具备RS485通讯接口功能，方便与PLC或工控计算机实现无误差传输，实现全自动控制。

5．可预置输出值。

6．智能报警功能，当输出值与设定值有偏差时，通过声光报警提醒用户。

7. 开机密码保护功能，可限制无关人员使用本机器。

8．多级输出功能。可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。

9．大屏幕液晶中文显示，界面友好，操作方便。

三、主要技术参数

1.输入电压： AC380V/3PH+N 50Hz

2.工作效率：≥90%

3．输出电压：0-800V/1000V/1200V 连续可调

4．输出电流：0-20A/40A/60A/80A/100A 连续可调

5．输出纹波：≤（100mv纹波(rms);≤0.1%）

6．控制精度：≤1%

7. 显示精度：0.1A/1V

8. 控制模式：恒流/恒压/恒功率可选

9. 外部接口: PLC模拟信号/RS485 可选

10．绝缘电阻：≥200MΩ

11．绝缘耐压：≥1500V/1分钟

12.外壳防护等级:IP21

13.环境温度：0~40℃

14、保护方式：具有过压、过流、缺相、过载等保护功能。告警功能：具有电流告警、短路告警功能。