横河电机Yokogawa台式微量氧氧气分析仪OX400

横河电机Yokogawa台式微量氧氧气分析仪OX400
型号:OX400
品牌:Yokogawa
原产地:日本
类别:电子、电力 / 仪器、仪表 / 分析仪器
标签︰横河 , 微量氧 , 氧气分析仪
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产品描述

OX400可用于控制和监视各种半导体应用,并控制环境,空气泄漏入惰性气体及其他过程。

用于半导体扩散炉和烘干炉,以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度,以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量测量氧气浓度

主要技术参数:

测量对象

惰性气体中的氧气浓度
(易燃性气体、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外)

测量系统

氧化锆系统

采样方法

泵式抽提式等

样气条件

流速200±25ml/min(用于传感器)
温度050℃(无结露)
湿度无结露
压力0300PaG
最大容许压力30kPaG

测量量程

010ppm O20100vol% O2

输出量程

自动

010ppm0100ppm01000ppm01%010%0100%(默认)

固定

设为010ppm0100ppm01000ppm01%010%,或0100%

部分

可设置下限值或上限值

模拟输出

2路输出,路:420mA DC(最大负载电阻550Ω),第路:可选为0105010V DC(负载电阻10kΩ或更大)

接点输出

报警输出2

错误接点,O2浓度报警接点

指定量程范围输出1

接点输出

多选择器(选配件)

流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出

接点输入

1采样气体吸入泵的远程ON/OFF

自诊断

故障

传感器错误,加热器温度错误,温度传感器断开,设备温度错误,CPU错误,FAN停止

报警

加热器不稳定,传感器错误,电动势异常,非对称电压错误错误,标定错误,传感器电阻错误,O2浓度上/下限,超限

串口通信

RS-23238400 bps

标定方法

(1)310ppm1000ppm,空气,(2)2可设定为零点气和量程气标定,(3)1点,(4)空气标定

暖机时间

20分以内

电源

100120V AC/220240V AC50/60Hz

功耗

100120V AC200VA 最大,220240V AC400 VA 最大

尺寸

213 (W) x 132 (H) x 375 (D) mm

质量

5kg

管线连接

气体入口Rc1/41/4NPT内螺纹
气体出口Rc1/41/4NPT内螺纹

环境条件

安装条件

室内,盘装或壁装,非易燃区域

环境温度

040℃,无结露

环境湿度

585%RH

储存温度

-550℃

重复性

±1%F.S.(101001000 ppm1%10%100%)

线性

±2%F.S.
±3%F.S.(0100ppm或更低)

响应时间

90%响应
10秒内(01%或更高)
30秒内(小于01%)

漂移

±2%F.S./



横河电机Yokogawa台式微量氧氧气分析仪OX400 1

会员信息

上海晖盈实业有限公司
国家/地区︰上海市闵行区
经营性质︰贸易商
联系电话︰13917428890
联系人︰徐智 (经理)
最后上线︰2019/03/09