集40多年的探针轮廓技术创新于一身，该系统在行业内的表现遥遥领先，以重现性最佳和标准扫描范围最大而著称。它提供各种各样的配置和附加选项，用于程序化测量、低探针力表征和细节分析

台阶仪Dektak 150 表面轮廓仪（探针式）

规格：

测试技术：探针轮廓技术

测试功能：二维表面轮廓测试

样品视场：640*480像素，USB；17 inc 平板显示器

探针传感器：低惯量传感器（LIS 3）

探针压力：使用LIS 3传感器：1至15 mg

          使用N-lite传感器：0.03至15 mg

探针选项：探针曲率半径可选范围：50 nm至25 um;

          高径比针尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um

样品载物台：手动X/Y/@：100*100 mm, 360度旋转，可手动校平；

            可选Y自动移动载物台，100 mm行程，1um重现性，0.5 um分辨率；

            可选X-Y自动移动载物台，150 mm行程；

            1um重现率，0.5 um 分辨率

计算机系统：主机使用celeron或者semprom处理器

软件：Dektak软件

      台阶检测软件

      可选应力测量软件

      可选三维Vision分析软件

      可选缝合软件

减震装置：可选桌式震动隔离装置

          可选台式震动隔离装置

性能

扫描长度范围55mm(2.1英寸)

每次扫描数据点最多12万数据点

最大样品厚度高达90 mm (4英寸)，取决于配置

最大晶圆尺寸150 mm(6英寸)

台阶高度重现性6埃

垂直范围：标准524um(0.02英寸)；可选1mm

垂直分辨率：最大1A（6.55um垂直范围下）

尺寸：292 mm *508 mm*527 mm

重量：34 kg

电源要求：

输入电压：100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ

 

有意者可详谈！