技术参数 

1.真空度测量范围：    9.999×10-1～1×10-6

    2.离子电流测量范围：    9.999×10-1～1×10-7

3.测  量  误  差：    ＜10%

    4.测 量 分 辨 率：    10-5pa

    5.允许环境温度：    -20℃～50℃

    6.空  气  湿  度：    ≤80%RH

    7.电          源：    AC，220V，50Hz±10%

    8.外  型  尺  寸：    420×290×210（mm）

9.高  压  输  出：    脉冲30kV15kHz

⒑重          量：    8kg