型号 Premium800C
范围 600×800×150mm
测量准确度 1.9+L/300（um）
测量准确度 3.0+L/150（um）
分辨率 0.1um
光学 可编程12：1光学放大20x-245x with1xObject Lens
照明 LED Coaxial Light/LED背光源
表面LED环形灯 LED环形灯5Rings×8 Sectors×40 Segments
线扫描激光器 平整度激光扫描分析软件
同轴激光器（可选）可补偿同轴激光器
接触式探针 RENISHAW接触式探针 使用iTouch软件
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