U V 机 特 点

适用于半导体晶圆减薄后和晶圆切割后UV膜解胶工序。
规格：6inch/8inch/12inch（型号HW-UV106/108/112)
■ 此外我们也能根据客户需求，提供非标产品.

该UV照射机时用来将切割制程中使用的UV膜的粘性减弱直至消除；
LED冷光源与汞灯组成的光源相比，更能实现稳定性、均匀性的照射；
UV照射机采用的LED冷光源是180度平射产品；
UV照射机采用采用扫描式平射产品，使UV膜的粘性减弱直至消除；
生产产能：60片晶圆/小时（原则上）；
小巧的桌上型系统设计；
采用液晶触摸屏一键式操作;
开启门时LED冷光源是关闭状态，可以保护人体安全；
LED冷光源寿命是一般汞灯寿命的十倍；
LED冷光源至少可以连续工作5000H（频繁启动对冷光源无副作用）

上海鸿微电子设备有限公司
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