Zeta-200是集三维成像和计量功能于一身的先进自动化表面测量系统。它功能配备齐全、使用方便，是自动三维测量系统中性能价格比最优的选择。Zeta-200能够自动采集样品上多点的工艺参数，如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等，为您提供监控及优化生产流程所需的数据。

典型的系统配置包括：

• 放大倍数为5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物镜
• 1/3英寸CCD相机; 0.5倍耦合镜
• 自动Z轴，30毫米驱动范围
• 自动XY载物台，200毫米x 200毫米驱动范围
• 具有3GB内存和320GB硬盘的电脑，24英寸显示器，以及泽塔三维功能软件

三维表面浏览 :

倾斜，旋转，缩放，滤波
体积计算

二维表面分析 : 

特征尺寸，直径，面积
图案间距，标准偏差
表面粗糙度
区域平均台阶高度

轮廓测量
台阶高度
粗糙度参数
多横截面分析
平均值测量标尺
点对点测量标记
倾斜度和表面波度补偿
阵列式采样序列
自动数据与图像输出用于生产线SPC

Zeta-20是一个设计灵巧、功能齐全且经济实惠的三维成像及测量系统。泽塔的Z-点阵专有技术可快速地对图案化蓝宝石基板、太阳能电池、微流体通道以及其它昂贵系统所不能测的表面进行成像。非接触式测量加上零维护成本使得Zeta-20成为同类产品中性能价格比最优的选择。

典型的系统配置包括：

• 放大倍数为5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物镜
• 1/3英寸CCD相机; 0.5倍耦合镜
• 自动Z轴，30毫米驱动范围
• 手动XY载物台，100毫米x 100毫米驱动范围
• 具有3GB内存和320GB硬盘的电脑，24英寸显示器，以及泽塔三维功能软件

三维表面浏览 :
倾斜，旋转，缩放，滤波
体积计算

二维表面分析 :
特征尺寸，直径，面积
图案间距，标准偏差
表面粗糙度
区域平均台阶高度

轮廓测量
台阶高度
粗糙度参数
多横截面分析
平均值测量标尺
点对点测量标记
倾斜度和表面波度补偿