干式真空机组是以罗茨真空泵为主泵，干式螺杆真空泵为前级泵的抽气系统。此中机组的过流部分没有任何液体作为工作液，对被抽工艺气体不产生任何二次污染，有利于保持被抽系统的清洁，便于排除气体的回收。www.zbvacp.com/  由于此种机组具有大抽气量、高真空度、无污染的特点，因此其应用越来越广泛。该泵的设计因为不再使用密封液或大量真空油，从而降低了使用成本，减轻了环境污染，两个螺杆转子在一对同步齿轮带动下在泵腔内反向旋转，这种结构简单，单级抽气方式可有效避免工艺原料聚集或积累到泵腔内，螺杆之间及螺杆与泵体之间无接触，因此能够抽出定量的液体及较软的微小颗粒。螺杆真空泵具有较高的真空泵，即可单独使用也可作为前级泵与罗茨真空泵组成真空系统。泵腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适用恶劣工况；旋转部件无摩擦，可高速运转，整机体积小；被抽气体直接排除泵体，便于尾气回收，无环保污染。罗茨真空泵是一种容积式真空泵，又称机械增压泵，其优点是在较低的入口压力时具有较高的抽气速率，是目前获得中高真空泵的主要真空泵之一。罗茨真空泵不允许高压差工作，否则将会过载或过热而损坏，因此使用罗茨真空泵必须合理地选用前级真空泵，安装必要的保护设备。在很宽的压强范围（1~1×10 4pa)有较入的抽速，泵腔无油，避免了油蒸汽污染真空系统，振动小、噪声小，易于维护和维修，费用低，寿命高，可抽除可凝性气体。 www.zbvacp.com/