电力

AC380　3P　50Hz　150A

有效曝光面积

1200mm×820mm

使用光源

采用进口10KW卤素灯管2支

灯管冷却方式

内/外高纯度石英玻璃管，配合冰水间接冷却

台面冷却方式

气冷式直接冷却曝光台面

曝光台面

上框采用MYLAR（平面与凹凸均可提供）
下框采用进口强化玻璃，上下框采用电磁锁

操作方式

采用人机介面控制（中，英文可切换）

真空度

采用数位式真空表

台面均匀性

80%以上

灯管寿命

保固800小时

机台尺寸

长3250+700(踏板)X宽1750X高1900+200(悬臂)mm

冰水用量

40L/min

机台重量

约1500Kg

Exposure drawer

upper drawer use mylar .
down drawer use glass.

Power supply

AC 380V, 3P, 50Hz , 150A.

Effective exposure area

1200×820mm

Light source

10KW metal halid-Lamp. 2pcs

Cooling system of lamp

direct cooling with cooled air .

Cooling system of drawer

direct cooling with cooled air .

Operation

Intelligent LCD controller with English and Chinese language

Vacuum

Dry vacuum pump .

Uniformity

up 80%.

Life of lamp

More than 800 hr.

Dimension

3250+700(W)X1750(D)X1900+200(H)mm

Weight

1500KG