概述:
由于一般液氩汽化后未经过纯化处理,它的氧含量一般在2ppm-5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围,但使用氩气的客户确不知道其质量,所以往往给生产产品质量造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何,只要经过纯化装置的处理后,进入拉晶炉的氩气,纯度始终是恒定的。一般 O2<0.2ppm,水分<1ppm,这样稳定的氩气对生产晶体质量是有保证的。
二、技术参数:
1、处理气量: 50Nm3/h
2、工作压力: ≤0.8Mpa
3、氩气来源: 液氩 >99.9%
4、氩气纯化后: O2≤1ppm CO2≤1ppm
H2O≤1ppm
5、装机功率: 9KW
6、电 源: 380V 50HZ
7、材 质: 304
8、管路、阀门为食品级
9、容器材质:304
三、设备构成:
1、脱氧器 2只
2、再生冷却器 2只
3、冷却器 2只
4、吸附干燥器 2只
5、精密过滤器 1只
6、不锈钢球阀、管路 1套(食品级)
7、金属转子流量计 1台
8、电气控制 1套(含温度调节仪、固态继电器、富士、施耐德电气元件、热电偶)
9、机柜 1台
四、工程服务
(1)供方提供下列服务
A.运输前设备及备件均应齐套,装箱清单与实物相一致
B.提供设备平面布置图纸
C.指导设备现场安装
D.负责设备现场调试
E.设备调试合格后提供设备操作维护手册
F.现场培训操作人员
(2)用户的责任
需方对下列条款负责
独立配电线路(电源380V 50HZ)
A. 提供设备用地范围的平面图
B. 负责提供水电条件
C. 配备相应的人员现场配合安装和调试