美國VARIAN公司VS氦質譜檢漏儀

VS系列氦質譜檢漏儀

特性及優點

·多種語言和計量單位選擇，可選中文界面

·135o 電離偏轉 (自然聚焦點)的全新質譜技術，金屬密封結構

·新的電子線路及信號處理設計

·最小可檢漏率高、靈敏度覆蓋範圍可達12個量程

·快速清氦和快速響應

·測試口耐壓高，可實現大漏檢漏

 技術規格

性能指標

PR02

MR15&MD30

性能

前級泵內置式

前級泵外置式及小車

前級泵        油式機械泵

DS-42 2 m3/hr (34 l/m)

DS-302 14 m3/hr (232 l/m)

渦卷式干泵

N/A

TS-620 30 m3/hr (500 l/m)

最小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下

5×10-12 atm cc/sec；

 5×10-12 mbar l/s；5×10-13 Pa m3/sec helium

測試口最高耐壓

16 mbar，12 Torr，1600 Pa

測試口處對氦氣抽速

1.8 l/s

校準程序

自動或手動（內置或外置）

氦本底清零

按鍵清零，並具有零點追蹤功能

操作界面

高清晰彩顯，TFT觸摸屏

語言選擇

中文/英語/法語/德語/日語/韓語/西班牙語

循環檢測

可編程粗抽時間/測試時間，設置報廢點

響應時間

＜1.0秒

設定點

標準；5個設定點；常開或常閉；3個漏率點；1個壓強點；1個聲訊點

通訊協議

RS-232 通訊借口，9600波特率（9芯竄口）

執行標準

UL，CE，CSA