本款高流量濾芯 專業取代 PALL  upk610 系列高流量濾芯，
  同時取代 entegris  SV10R 系列高流量濾芯。

PFP 系列濾芯特點：

1.高流量、低壓差、絕對孔徑、使用壽命長

2.製作濾芯採用熱熔技術，不添加任何粘結劑，因此無任何添加物釋出。

3.適用於第7、第八代大型液晶廠基板清洗、蝕刻及高精度過濾製程之應用。

4,。製造環境為 CLsss 1000d 等級之無塵室。