• 電子槍：冷場發射型
• 分辨率：15KV：≤1.5nm（WD：12mm），
1kV：≤2.1nm
• 加速電壓：0.5～30kV
• LOW MAG模式：×30～2,000
• HIGH MAG模式：×250～500,000
從陰極發出的電子經電壓加速和物鏡縮小,
形成很細的電子束聚焦于樣品表面上, 電子
束在樣品表面逐點掃描, 引起二次電子發
射。
二次電子經探頭形成二次電子信號, 二
次電子信號經預放大、比較放大器、多道脈
沖高分析儀、數據處理機及場發射定量系統
的數據同步處理, 最終將樣品圖象顯示在顯
象管屏幕上。