晶圓芯片外觀檢查裝置

晶圓芯片外觀檢查裝置
型號：OVS-5000
品牌：OKANO
原產地：日本
類別：電子、電力 / 其它電力、電子
標籤︰晶圓芯片檢查 , 芯片檢查裝置 , 芯片外觀檢查
單價： -
最少訂量：-
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產品描述

OVS-5000晶圓芯片外觀檢查裝置
利用線型攝影機（Line Camera）將安裝于XYθ載台（Stage）上的晶圓芯片製成分析資料（Mapping Data）后，再以高解析度面型攝影機（Area Camera）同時檢查多片芯片的裝置。
 
此外，已將各種功能濃縮于精簡的裝置尺寸內。
世界首創！！正在申請專利
高速處理且穩定性出眾
 
　
OVS-2500 （NEW ）
OVS-5000 （高性能機型）
攝像機
200 象人元　（3CCD）
200 象人元　（3CCD）
透鏡電動變焦
1 倍 / 2 倍 / 4 倍金屬顕微鏡
明暗視野兼用透鏡
照明
同軸照明斜光環形照明
利用物鏡
解析度 / 視野
5.8 μm / 9.4 x 7 mm ～ 1 μm / 1.6 x 1.2 mm 
3.5 μm / 5.6 x 4.2 mm ～ 0.9 μm / 1.4 x 1 mm
處理能力
10,000 個/ 每分鐘（□ 200 μm / 視野20 個）
※根據條件有變動
12,000 個/ 每分鐘（□ 200 μm / 視野20 個）
※根據條件有變動
晶片尺寸
6 inch Wafer Die size 150 μm ～
8 inch Wafer Die size 150 μm ～
電腦
2 pc s（ Windows 7 / 64 bit）*分配選舉可能擴大
4 pc s（ Windows 7 / 64bit）
奇電力設備
功率　3 相　AC 200 V 50 / 60 Hz 20 A 以下
氣動功率 0,5 Mpa
功率　3 相　AC 200 V 50 / 60 Hz 20 A 以下
氣動功率 0,5 Mpa
裝置尺寸 / 重量
（W）1050 ×（D）900 ×（H）1650 mm / 約800 kg 
（W）1400 ×（D）1100 ×（H）1750 mm / 約1300 kg
晶圓芯片外觀檢查裝置 1

會員信息

深圳市岡野科技有限公司
國家/地區︰广东省深圳市
經營性質︰生產商
聯繫電話︰0755-83125588
聯繫人︰李衛平 (市場部)
最後上線︰2012/11/19

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