壓力控制方式是因為採用滾動膜片與計量膜合的伺服平衡方式，可以實現精密的壓力調整。

高精度控制

可以實現敏感度0.1%F.S.,反復再現性±0.1%F.S.的高精度空氣壓力控制。

優異的特性

具有非常優異的排氣特性，壓力特性，流量特性。特別是最小排氣壓力（排氣敏感度）
為0.03kPa。（有非常優異的理論計算值，張力控制，氣動平衡裝置的用途是最為適用的。）

優異的始動安定性

長時間不動作后，也沒有必再調整壓力設定。

耐臭氧特性，耐發粉塵特性

為了提高耐臭氧，耐發粉塵的特性，橡膠部品採用了氟橡膠。

排氣孔的配備

因為排氣孔，溢流孔可以連接排氣用配管，排氣，溢流空氣可以排到外部。適用於半導體，電子器械製造行業。

大幅度的輕量化

本體的材質採用了鋁合金鑄造，與以往的產品比較實現了大幅度的輕量化。