主要技術參數
射頻發生器（RF）
(1) 電路類型：電感反饋式自激振盪電路，全自動點火，全自動化控制，所有功能實現電腦設置(點火、熄火、功率等參數設置)；實時功率控制；自動匹配調諧；光室恆溫；自動峰位校正；蠕動泵進樣，泵速連續可調；針對不同樣品有多種進樣系統可以選擇(普通進樣系統、耐高鹽進樣系統、耐氫氟酸進樣系統)；防紫外線輻射、防高頻輻射觀察玻璃，使操作更安全。
同軸電纜輸出，匹配調諧，取功率反饋，進行閉環自動控制。
(2) 工作頻率：40.68MHZ±0.05%
(3) 頻率穩定性：<0.1%
(4) 輸出功率：800－1200w
(5) 輸出功率穩定性：≤0.3%
(6) 電磁場洩漏射強度：距機身30cm
電場強度E：<2V/m，磁場強度H：<0.2A
進樣裝置:
(1) 輸出工作線圈內徑25mm，3匝
(2) 炬管：三同心Fassel型，外徑20mm的石英炬管
(3) 同軸型噴霧器外徑6mm
(4) 雙筒形霧室外徑35mm
(5) 氬氣流計規格和載氣壓力表規格：
①、 等離子體流量計（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min)
②、 輔助氣流量計（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min)
③、 載氣流量計（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min)
④、 載氣穩壓閥（0-0.4MPa）
測光裝置:
(1) 光電倍增管規格： R212UH
(2) 光電倍增管負高壓：200-1000V ，穩定性<0.05%
(3) 光電倍增管電流測量範圍：10-12 -10-4A
(4) 信號採集為V/F交換：1mV對應100Hz
分光器:
(1) 光路: Czerny- Turner
(2) 焦距: 1000mm
(3) 光柵規格：離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線/mm，
刻線面積: 80×110mm，線色散率倒數：0.26nm
(4) 波長範圍：190-500nm
(5) 分辨率: ≤0.008nm
(6) 掃描波長範圍3600線/mm 掃描波長範圍：190-500nm
(7) 步進電機驅動最小步距：0.0005nm
(8) 入射狹縫：20µm 出射狹縫：25µm
(9) 發射鏡規格：（78 × 105 × 16）mm
(10) 透鏡ф30，1：1成像